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軍報記者成都11月29日電(呂珍慧、記者鄒維榮)國家重大科研裝備研製專案“超分辨光刻裝備研製”29日透過驗收,這是我國成功研製出的世界首臺分辨力最高紫外超分辨光刻裝備。該光刻機由中國科學院光電技術研究所研製,光刻分辨力達到22奈米,結合多重曝光技術後,可用於製造10奈米級別的晶片。
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  • 1 # 笑月6

    被譽為晶片領域的重大突破,中科院造出超強紫外線超分辨光刻裝備。據悉,這是經過了七年的艱苦攻關才取得成就。這臺超分辨光刻裝備效能是非常強大的,據驗收專家組的意見:"該光機在365奈米光源波長下,單次曝光最高線寬分辨力達到22奈米。專案在原理上突破分辨力衍射極限,建立了一條高分辨、大面積的奈米刻裝備研發的新路線,繞過國外相關智慧財產權壁壘"。

    這臺中國產光刻機,可以做到22奈米,結合雙重曝光技術後,未來可以製造10奈米級別的晶片。這可是現在積體電路領域的頂級產品,這對中國來說的確意義重大,應該為中國喝采。

    晶片技術引起華人關注的,是2018年4月16日美國商務部宣佈,禁止中國中興通訊在未來七年內向美國企業購買敏感產品,即著名的"中興事件",至此,廣大華人才突然發現,在關鍵技術領域被別國掐脖子,是多麼的難受。

    其實關於晶片的故事,並不是突然進入我們眼簾的。自從世界各先進國家制造出制導武器開始,這種技術就開始發揮它的作用了。1972年5月13日,14架美國F-14D"鬼怪"式戰鬥機,帶彈飛臨越南被稱為"永不會被炸垮"的清化大橋上空,這些名牌響亮的美國戰機,總共向該大橋投下了26枚GBU-10鐳射制導炸彈。這是被視為具有里程碑意義的精確打擊,在此之前,美國戰機曾無數次轟炸此橋,投放大量炸彈,但無一成功,反而損失了20架戰機。這次鐳射制導炸彈的精確打擊,證明了精確制導武器的厲害。

    在後來的戰爭,精確制導武器的使用率是越來越大,種類也越來越多。在1991年的海灣戰爭中,美國為首的多國部隊,只用了42天就擊敗了當時號稱"強大"的伊拉克軍隊,斃傷和俘虜了伊軍近30萬人,而美軍僅僅死亡了390人、傷3336人、被俘21人、失蹤45人。這是美國軍隊取得的輝煌勝利,而且輝煌得如此耀眼,跟以往的戰爭比起來,簡直令人不敢相信。

    為何有如此懸殊的損失比?這很大程度上得益於美軍的情報收集和處理、預警指揮、通訊、作戰平臺、電子戰,以及精確制導武器等方面佔具了絕對優勢,其中還上演了"愛國者"大戰"飛毛腿",導彈打導彈的精彩大戲。因此,海灣戰爭被人們稱為"矽片戰勝了鋼片"。在以後的戰爭中,精確制導武器的使用量就越來越大。海灣戰爭,精確制導武器的使用比例是7.6%,1999年的科索沃戰爭為35%,2001年的阿富汗戰爭為60%,2003年的伊拉克戰爭為68.3%。由此可以預見,在今後的戰爭中,精確制導武器的使用率一定是非常高的,今後的戰爭就是"矽片戰勝矽片"的較量,而矽片就是我們今天所重視的晶片。

    晶片就是指積體電路的矽片,是積體電路的載體,現代戰爭的武器、指揮通訊等等系統離不開它,現代的電子產品及許多商業領域更是離不開它。但是,今天所有有關先進的晶片設計製造生產技術都掌握在晶片強國手中,例如美國在晶片技術上就佔據了領先地位。美國的晶片技術起步早,投入大,從研發到投入市場的速度快,且市場的認同度高。美國在全球晶片市場上屬晶片大國,其地位幾乎十分穩固。由於美國掌握著全球領先的晶片技術,表現得傲慢一點也是可以理解的。

    另外,要想製造高階晶片,就必須要擁有高階的加工裝置,光刻機就是生產積體電路的關鍵裝置。目前全球高階光刻機基本上被荷蘭ASML所壟斷,全球14奈米的光刻機都是ASML製造的,而且是限量生產,每年只生產24臺,每臺價格高達1.5億美元。為什麼英特爾、臺積電、三星等晶片巨頭能製作高階晶片,就在於它們是ASML的股東。一般國家和地區是很難以獲得高階光刻機的,即或欲購買二手貨,還得要美國點頭,老美不點,你就萬金難求,因為美國是國際控制常規武器和兩用物品及技術的《瓦森納協定》的主導國,賣誰不賣誰,得徵求它的意見。

    中興事件我們經歷過了,關鍵的核心技術掌握在別人手裡,就得受制於人。今天,在中國科學工作者們的辛勤努力下,終於造出了我們自己的高階光刻裝備,不得不說這是中國的驕傲。華人勤勞克苦,華人有聰明才智,只要我們有堅強的意志,並不斷努力,在世界先進技術的頂峰上,一定會有華人耀眼的身影。

  • 2 # zzh173444133

    如果是真的,那重大意義自不必說。我想說的是,咱們得感謝特朗普,得感謝班農……,如果不是他們的制裁,我們的晶片,我們的作業系統,我們的cpu等等都不可能有出頭之日,因為我們的東西和老美的那不是差一代啊,成本那是遠遠高於人家啊,在自由貿易的條件下,在自由的市場,我們怎麼可能競爭的過別人?所以我們得感謝特沒譜,只要他沒譜,我們就要笑了

  • 3 # 東風高揚

    中科院光電所驗收透過的超分辨光刻裝備(22奈米)有什麼重大意義?無疑這種光刻裝置的研製成功具有重大的意義,會大大提升我們在光學器件等方面的製作水平,為今後晶片製造水平的大力提升打下良好的基礎。這種光刻分辨力能達到22奈米,並結合多重曝光技術後,可用於製造10奈米級別的晶片。

    目前的研究成果是具有自主智慧財產權,在原理上與別人不同,突破了分辨力衍射極限建立一條高分辨、大面積的奈米光刻裝備研發新路線,這種路線與ASML這樣的傳統路線是不一樣的。為今後解決更高階奈米光學加工提供了另外一種新的解決方向,主要是為材料、表面、光學器件、廣義晶片等提供了一種製造的工具。

    晶片一直是我們這種電子產品製造大國的疼,解決不了始終會受制於人,每年大量的財力購買晶片就是一個例證。每一年均以兩位數的百分點在向上增長,2017年一年的積體電路進口金額就達到了2600多億美元。如果我們光刻裝置研製成功能夠自給自足,理論上每年可以為我們國內帶來2600多億美元的市場機會,而且還有每年十幾個百分點的增長率。

    雖說成功研製並且透過驗收,但真正要做到量產及應用於IC製造,還有較長時間的等待。而且以目前的實力,還是無法撼動ASML在IC製造領域的霸主地位。但至少這種裝置在高精密光柵、光子晶體陣列等光學器件的加工上,可以達到相當的水平,甚至可以說是高階。假以時日,能夠進行量產的中國產IC製造裝置的大批次誕生也並非沒有可能。

    當然要真正實現晶片高階製造的中國產化,完全替代ASML可並非易事,畢竟ASML可是這個領域的世界霸主,而且是長期的。現在它的目標可已經是對準了3nm、1nm方向在進行研究。不過,中科院光電所的超分辨光刻裝備驗收透過告訴我們,機會還是有的。

  • 4 # 月球愛好者

    沒有什麼‘超分辨’這個概念!就叫高分辨,不要以為能分辨到奈米你就能炒作概念!不要以為借炒作概念就能提高你的水平!

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